設備特點

• 全自動清洗，浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
• 一機多用，可兼容石英管/舟/工件清洗
• 自主研發控制系統，友好的人機交互界面
• 自動配液系統，換酸便捷
• 分級安全互鎖設置，確保設備安全可靠

• 晶圓尺寸

  8、12 英寸

• 適用材料

  石英、碳化硅

• 適用工藝

  石英管/ 舟、石英板、點火炮、基座等零部件浸泡式清洗

• 適用領域

  集成電路、功率半導體、化合物半導體、科研領域

北方華創HSE D300 等

• 鋰電材料
• 正極材料
• 負極材料
• 鋰電隔膜
• 電解液
• 其他輔材

• 鋰電設備
• 電芯生產
• 電芯檢測
• 材料處理
• 材料檢測
• 輔助設備

• 零部件
• 電池配件
• 設備配件
• 電子元器件
• 其他附件

• 鋰電池
• 磷酸鐵鋰電池
• 鈷酸鋰電池
• 錳酸鋰電池
• 三元鋰電池
• 一次鋰電池
• 其它電池